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真空溅射镀膜设备行业标准
发布时间:2017-07-24 浏览:2564 次

1、范围
本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数,技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于压力在1*101~5*10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备

2、型号与基本参数
2.1 设备的型号应符合JB/T7673规定。
2.2设备的基本参数应符合表1的规定。

参数名称

参数数值

A

B

极限压力Pa

≤5*10-4

≤5*10-3

恢复真空抽气时间min

从大气压至7*10-3 Pa ≤20

从大气压至7*10-2 Pa ≤10

升压率Pa/h

≤8*10-1

≤2.5

溅射电流变化率

<正负5%

3、技术要求
3.1设备正常工作条件
3.1.1温度:10度-30度
3.1.2相对湿度:不大于75%
3.1.3冷却水进水温度:不高于25度
3.1.4冷却水质量:城市自来水或质量相当的水
3.1.5供电电源:380V、三相四线制、50Hz,电压波动范围:361~399V,频率波动范围:49~51Hz.
3.1.6环境:室内应整洁;地面、天花板及设备周围墙壁应干净;空气应清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。

3.2结构要求
3.2.1设备中静、动密封圈的结构形式及尺寸应符合GB/T6070和JB/T1090-1092的规定。
3.2.2真空管道上和镀膜室靠近排气口位置上应装真空测试十分规管,分别测量各部位的压力。
3.2.3如果设备以油扩散泵或油扩散喷射泵为主泵,应在其进气口一侧安装油蒸气捕集阱。
3.2.4镀膜室应设有观察窗,对在镀膜过程 中发生射线的设备,观察窗上应加装防射线镜片。
3.3制造质量
设备的制造质量要求按GB/T11164-1999中的4.4
3.4安全防护要求
设备的安全防护要求按GB/T11164-1999中的4.5
4、试验方法
4.1极限压力
4.1.1试验条件
a)镀膜室内为空载(即不放被镀物品,也不进行溅射),不得拆去设备正常工作时应安装的溅射源、工件支架等部件;
b)真空测量规管应装于镀膜室靠近排气口位置上;
c)允许在抽气过程中用设备本身配有的加热或轰击装置对镀膜室进行除气。
4.2镀膜室恢复真空抽气时间
4.2.1试验条件
按4.1.1。
4.3升压率
4.3.1试验条件
按4.1.1
4.3.2试验方法
按GB/T11164-1999中的5.3.2 

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