真空镀膜设备的检漏方式

    真空镀膜设备的检漏方式多种多样,本文最主要介绍镀膜设备两种高感度的检漏方式。

    1.残留气体分析法残留气体分析使用四极滤质器。通过分析真空腔体内的残留气体,当某种特定的气体量多的时候可知有漏气。如：有检测残留气体的例子。没有漏气时,质量14,28,32的峰值分别是CH2,CO,O2如果有漏气,则N,N2,O2会从大气侧流入,使相应的质量数峰值增加。

真空镀膜设备的检漏方式2

    探测法
从外部用氦气吹向被检测部,然后由连接在真空腔体上的氦质谱检漏仪来检测侵入的氦气,这种方式可检测出极少的漏气。
检测气体使用氦气的原因如下：
1.氦气在空气中的存在量仅为5ppm,如果有漏气容易查清原因。
2.因为是惰性气体,在真空腔体内不容易吸附在腔体上,容易放出。
3.从腔体放出的气体中几乎不包含氦气。
4.没有毒性。

3044永利官网vip|主頁欢迎您!专业提供进口真空镀膜设备维护保养，进口3044永利官网vip升级改造，美国Polycold补集泵销售、维修，同时还是3044永利官网vip中国华南区总代理，如您的进口真空镀膜设备有问题，请联系我们，24小时服务热线：13827202848    400-6887599 

 阅读本文的人还阅读：

镀膜设备检漏操作

镀膜设备真空系统常用检漏方法