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镀膜设备真空系统常用检漏方法
发布时间:2014-02-25 浏览:6583 次

镀膜设备真空系统常用检漏方法有


1、充压检漏法:是在被检容器或工件内充入一定压力的检测气体,然后将被检测件浸入或在其外表面涂满显示液体,如果有漏孔,气体便通过漏孔流出,并在漏孔处形成气泡,气泡形成的地点就是漏孔的位置。

2、真空计检漏法:在真空系统正常抽气已达到动态平衡时,利用各种相对真空计的读数与被测气体种类有关的性质,使用真空设备上已有的真空计进行检漏的方法,统称为真空计检漏法。

3、离子泵检漏法:离子泵无油抽气超高真空系统常用的一种检漏方法。

4、卤素检漏法:卤素检漏仪是带有特殊检漏传感器的仪器。

5、高频火花检漏仪检漏方法

6、超声波检漏技术

7、荧光示踪检漏技术等等

 

镀膜设备真空系统常用检漏方法有7种方法,你会了哪种方法啊?

 

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