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镀膜设备的结构
发布时间:2014-02-22 浏览:3392 次

 1  镀膜设备的结构:抽真空系统、电气系统、镀膜室



 

 

 

镀膜设备的镀膜方式:离子镀、蒸发镀、溅射镀

 

 

 

 

 

 

 

2.1镀膜设备-蒸发镀:

 

 

 

 

 

 

将气体的辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜结合起来,

 

 

 

2.3镀膜设备-溅射镀:

 

 

 

   

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2.2镀膜设备-离子镀: